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| 品牌 | Thermofisher Scientific/賽默飛世爾 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
Thermo Scientific Axia ChemiSEM
--掃描電子顯微鏡
成像即刻融合成分信息
全新一代Axia ChemiSEM掃描電鏡其成像平臺即時可用，且集成獨特的實時定量能譜面分析功能，專為快速分析而設計，操作簡單，新手用戶也可輕松操縱。
實時定量元素面分析
Thermo Scienti?c™ Axia™ ChemiSEM 引入一種全新的能譜分析概念，采用獨特方法進行樣品成分信息的采集、處理和展示。傳統能譜會利用二次電子或背散射電子信息，卻不利用其圖像進行數據處理，因而數據獲取速度較慢，而且圖像分辨率相對粗糙。相比而言，Axia ChemiSEM 采集數據所用的是同一掃描發生器，將掃描電鏡圖像與能譜圖像對中，因而圖像更加銳利，圖像噪音更少。另外，此外，脈沖處理采用自適應脈沖整形技術，確保各種條件下均能獲得可靠數據。
元素分布圖通過定量算法形成，因此，所顯示的成分數據可靠，且結果中不會出現重疊峰誤判等。專有的陰影檢測算法幫助確保信息來自于 檢測到X射線的區域。
啟用方便、快速
Axia ChemiSEM 依托優良鏡筒技術，保持系統始終處于優良狀態，可聚焦樣品采集數據，隨時提供高質量圖像。系統同時集成了創新性的交互式用戶指南，幫助用戶充分利用系統的各項高級功能。能譜集成在用戶界面中，可輕松完成成分分析，從而大程度提高工作效率。
掃描電子顯微鏡主要優勢
實時成分信息：同步掃描獲取多種信號時執行能譜分析，實時檢測形 貌與元素信息 成像平臺即時可用：只需專注數據采集，不必憂慮電鏡條件設置
更快獲得數據：多種成像和掃描策略，優化圖像采集效果并提升系統 處理能力
靈活的樣品臺設計：全開門式設計，大樣品可輕松放入樣品倉內；樣品臺可容納重達 10 kg 的樣品
獨特的成像性能：提供低真空模式和電子束減速模式用于消除荷電效應
樣品加載靈活
Axia ChemiSEM 采用全開門式設計，系統耐用性和靈活性更高，可以加載大而重(重達10 kg)的樣品，從而節省樣品制備時間。
提供獨特的成像性能
Axia ChemiSEM 全方面性能表現出色，可表征各種不同類型材料，提供全面的信息。低真空模式下壓力可達150Pa，能夠分析廣泛類型的樣品。在分析不導電樣品方面，低真空模式不僅可以消除荷電效應，還可以增強材料襯度，并支持采用較大束流進行成分分析。
多種軟件及檢測功能滿足高級應用需求
Axia ChemiSEM 可搭載多款 Thermo Scienti?c 掃描電鏡軟件實現多種自動化功能。同時，Thermo Scienti?c AutoScript ™ 軟件可提供定制化流程開發。系統也可選配耐用且易用的陰極熒光探測器。
維護簡單
Axia ChemiSEM 燈絲更換十分簡單，用戶可自行輕松完成。系統采用簡約化設計，維護快速，可保持長時間正常運行。
技術亮點
電子光學
• 具有四陽極源發射幾何結構的高性能熱發射 SEM 鏡筒
• 穩定的電子對中鏡筒，配置固定物鏡光闌，易于操作
• 燈絲更換全自動對中程序
• 45°物鏡幾何結構
• 配備“穿過透鏡"的壓差真空系統，降低電子束散射裙邊效應，在低真空、小束流下實現最準確分析及最高分辨率成像電子束分辨率
• 高真空成像
— 3.0 nm @ 30 kV (SE)
— 8.0 nm @ 3 kV (SE)
• 高真空下電子束減速模式 — 7.0 nm @ 3 kV (電子束減速模式* + 背散射電子探測器)
• 低真空成像
— 3.0nm @ 30 kV (SE)
— 4.0nm @ 30 kV (BSE)
— 10nm @ 3 kV (SE)電子束參數
• 電子束流范圍：最大2 μA，連續可調
• 加速電壓范圍：200V ~ 30 kV
• 放大倍數：5 ~ 1,000,000× (寶麗來倍數) 樣品倉
• 內寬：280 mm
• 分析工作距離：10 mm
• 端口：10個
• EDS 取出角：35°
• 可安裝正對的雙能譜探測器
• 共面 EDS/EBSD 與樣品臺傾斜軸垂直
探測器
利用探測器或探測器分割部分的任意組合，可同時檢測多達四個信 號：
• ETD：Everhart-Thornley 二次電子探測器
• 可伸縮背散射探測器
• TrueSight X EDS 探測器，固體角 13 mSr, 分辨率 129 eV；可選配升 級成 TrueSight LX - 38 mSr, 132 eV
• 低真空二次電子探測器 (LVD)，標配用于低真空模式
• 紅外CCD 相機
• Thermo Scienti?c Nav-Cam™ 導航相機
• 陰極熒光探測器，集成在用戶界面中用于采集真彩圖像*
• 電流測量*
• 支持第三方探測器
真空系統
• 1 × 84 升/秒 TMP, 1 × PVP
• 獨特的“穿過透鏡"壓差真空系統
• 抽真空時間：高真空 ≤2 分鐘，低真空 ≤4.5 分鐘
樣品托
• 標準多功能樣品托，以獨特方式直接安裝到樣品臺上，可容納 7 個標 準樣品托架(φ12mm)，樣品安裝無需工具
• 單樣品托
樣品臺
• 類型：五軸驅動樣品臺
• XY行程：120 x 120 mm
• Z 軸驅動行程：55 mm
• 旋轉：n×360°
• 傾斜：-15° / +90°
• 最大樣品高度： — 分析工作距離 (10 mm) 下 72 mm，無樣品托 — 分析工作距離 (10 mm) 下 128 mm，拆下ZTR軸
• 最大樣品重量： 任意樣品臺位置處為 500 g 移除ZTR軸時最大 10 kg
系統控制
• 64位GUI(Windows 10)、鍵盤、光學鼠標
• 24英寸LCD顯示器、WUXGA 1920 x 1920(第二臺顯示器可選配)
• 定制化的圖形用戶界面，可同時激活多達4個視圖
• 導航蒙太奇
• 撤銷(Undo)/重做(Redo)功能
• 基本操作及應用用戶指導
圖像處理器
• 駐留時間范圍：50 納秒 ~ 25 毫秒/像素
• 最高 6144 × 4096 像素
• 文件類型：TIFF (8 位、16 位、24 位)、JPEG 或 BMP
• 單幀或四幀圖像顯示
• SmartSCAN™ (256 幀幀平均或幀積分、線積分和線平均、跨行掃描)
• DCFI (漂移補償幀積分)
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