一、操作前準備
 

　　樣品預處理：確保樣品干燥、無揮發性物質(避免污染鏡筒)，導電樣品可直接使用，非導電樣品需噴金 / 噴碳處理(防止電荷積累)；樣品尺寸需適配樣品臺，避免超出承載范圍。
 

　　儀器檢查：觀察場發射掃描電子顯微鏡電源、真空系統是否正常，鏡筒內無殘留樣品或雜物，冷卻系統(如液氮)液位滿足要求。
 

　　安全規范：穿戴防護手套(避免指紋污染樣品 / 儀器)，嚴禁在真空未達標時開啟電子槍，遠離鏡筒觀察口(防止輻射)。
 

　　二、核心操作步驟
 

　　1. 樣品裝載
 

　　打開樣品室門，將預處理好的樣品固定在樣品臺上(確保安裝牢固，避免移動)；
 

　　關閉樣品室門，啟動真空系統，等待真空度達到儀器要求(通常顯示 “真空就緒” 指示燈亮)。
 

　　2. 啟動電子槍與參數設置
 

　　真空達標后，開啟電子槍，選擇加速電壓(根據樣品類型調整，一般 1-30kV，導電樣品可高電壓，非導電樣品用低電壓)；
 

　　設置發射電流(遵循儀器推薦范圍，避免過大損傷樣品或儀器)。
 

　　3. 觀察與定位樣品
 

　　調節樣品臺 XYZ 軸，通過光學顯微鏡或低倍電子圖像找到目標區域；
 

　　切換至合適放大倍數(從低倍到高倍逐步調整，低倍用于定位，高倍用于細節觀察)。
 

　　4. 圖像調節與采集
 

　　調節亮度、對比度，使圖像清晰(避免過亮或過暗)；
 

　　選擇圖像分辨率(根據需求調整，高分辨率適合細節分析，低分辨率適合快速預覽)；
 

　　點擊 “采集” 按鈕，保存圖像(可選擇 JPG、TIFF 等格式)。
 

　　5. 關機流程
 

　　先關閉電子槍，降低加速電壓至 0；
 

　　等待真空系統泄壓(不可強制開門)，泄壓完成后取出樣品；
 

　　關閉儀器電源、冷卻系統，清理樣品臺及操作區域。
 

　　三、關鍵注意事項
 

　　真空未達標時，嚴禁開啟電子槍或打開樣品室門，否則會損壞鏡筒和電子槍；
 

　　樣品必須干燥、無腐蝕性，避免污染真空系統或鏡筒內部；
 

　　調節放大倍數和樣品臺時，動作要緩慢，防止樣品碰撞鏡筒；
 

　　若場發射掃描電子顯微鏡出現圖像模糊、放電等異常，立即關閉電子槍，聯系技術人員排查，不可自行拆卸儀器。