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半導體微聚焦X射線檢測設備

簡要描述:半導體微聚焦X射線檢測設備專為半導體封裝與電子元器件設計的高精度無損檢測設備,采用微米級聚焦X射線技術,實現芯片內部結構的二維/三維可視化檢測,滿足半導體行業對缺陷分析的嚴苛要求。

基礎信息

產品型號

AX8300Si

廠商性質

代理商

更新時間

2025-07-18

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詳細介紹
品牌日聯科技應用領域綜合
半導體微聚焦X射線檢測設備 AX8300Si
半導體微聚焦X射線檢測設備

2μm閉式管,高解析度
Lead Frame/BGA/IC/LED/IGBT檢測
高速CNC巡航測算
Rework復判

AX8300Si 是一款專為半導體封裝、電子元器件及精密制造領域設計的無損檢測設備,采用微米級聚焦X射線技術,結合高精度機械系統和智能圖像分析軟件,可實現對芯片、焊點、封裝結構等的非破壞性內部檢測。其超高分辨率與自動化功能使其成為半導體質量控制、失效分析和工藝優化的關鍵工具。

核心技術優勢

1. 微聚焦X射線成像系統

X射線源:封閉式微焦點射線管,焦點尺寸 ≤0.5μm,能量范圍 20-160kV(可調),確保高穿透力與細節解析能力。

探測器:高靈敏度平板探測器(分辨率 3072×3072像素),支持 16bit灰度成像,動態范圍廣,可清晰呈現微米級缺陷。

放大倍率:光學幾何放大最高 5000X,可檢測 0.2μm級缺陷(如晶圓裂紋、微孔洞)。

2. 多模態檢測能力

2D實時成像:高速掃描(幀率≥30fps),適用于產線快速抽檢。

3D-CT斷層掃描:通過多角度投影重建三維模型(體素分辨率 ≤1μm),支持內部結構分層分析。

AI智能分析:內置深度學習算法,自動識別 BGA虛焊、引線斷裂、封裝分層 等典型缺陷,分類準確率 ≥99%。

3. 高精度機械系統

載物臺:高剛性大理石平臺,行程 300×300×200mm(可定制),定位精度 ±1μm,支持自動旋轉(360°連續掃描)。

安全防護:鉛屏蔽艙體(輻射泄漏<1μSv/h),符合 ISO 9001 & IEC 61223 安全標準。

4. 全自動化選配

機械臂上下料:兼容JEDEC托盤或卷帶包裝,實現無人化檢測。

MES系統對接:支持檢測數據自動上傳至工廠管理系統,生成SPC報告。


半導體微聚焦X射線檢測設備 AX8300Si

軟硬兼備

帶領X射線檢測設備新風潮

應用領域

精密電子制造行業、半導體行業(集成電路)汽車電子行業、航空航天電子行業

檢測項目

錫焊缺陷(缺焊/連錫/氣泡)

Bonding缺陷(金線變形/斷絲/芯片偏移)

SPC過程控制等

半導體微聚焦X射線檢測設備






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